XY掃描器：

• 閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。
• 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)
• 分辨率: 0.05 nm
• 定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
• 水平線性: < ２nm (over 40 μm scan)

Z掃描器：

• 柔性引導(dǎo)高力度掃描器
• 掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
• 分辨率: 0.015 nm
• 定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
• 共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
• 表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光學(xué)系統(tǒng)：

• 可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)
• 視場: 480 × 360 μm (10× objective lens)
• CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物鏡：

• 10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
• 20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm 分辨率)

信號處理：

• ADC: 18個(gè)通道
• 4 個(gè)高速 ADC 通道 (50 MSPS)
• X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
• DAC: 12 信道
• 2個(gè)高速 DAC 通道 (50 MSPS)
• X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
• 大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素

集成功能：

• 3個(gè)通道數(shù)字鎖相放大器
• 熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)
• 數(shù)碼Q控制

外部信號介入：

• 20個(gè)嵌入式信號輸入/輸出端口
• 5個(gè)TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

原子力顯微鏡 原子力顯微鏡